发布时间：2024-04-29 09:31:35
探针台是半导体行业重要的检测装备之一，其广泛应用于复杂、 高速器件的精密电气测量，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。半导体测试可以按生产流程可以分为三类：验证测试、晶圆测试测试、封装检测。探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。除探针台外，晶圆检测环节还需要使用测试仪/机，测试仪/机用于检测芯片功能和性能，探针台实现被测芯片与测试机的连接，通过探针台和测试机的配合使用，可以对晶圆上的裸芯片进行功能和电参数测试或射频测试，可以对芯片的良品、不良品的进行筛选。
探针台由哪些部分组成？
1.样品台（载物台）
探针台的样品台（也称为载物台）是用于定位晶圆或芯片的部件设备。其大小通常根据晶圆的尺寸来设计，并配备了相应的精密移动定位功能，以确保待测物体能够准确放置在所需位置。在使用探针台进行测试时，用户通常会将待测样品放置在样品台上，并通过显微镜观察待测区域，使探针对准并放置在待测晶圆或芯片的测量点上。样品台有一个非常平坦的金属表面有多个吸附孔，使用真空来吸附晶圆（样品），样品也可通过用夹具来固定待测物。
2.探针座
探针座是一种用于测量、测试、分析电路的工具，通常由探针座主体和插座两部分组成。其中，插座用于安装待测试的器件，而探针座主体则负责与测试仪器相连接，实现测量以及测试的数据传输。因此，探针座也常被称为测试座或测量座。
探针座主要应用在半导体行业以及光电行业的测试中，其使用范围广泛，包括小电流量测及电容量测、高压量测、R/F量测、I/O点量测等，适用于半导体产业、光电产业或学术单位等。
3.显微镜系统
谱量光电LMU-H系列激光显微镜系统主要有左侧为相机，兼容 CCD 以及 CMOS 相机，可以连接显示器及电脑。中间为激光显微镜，集成高准直光纤接口，可以进行激光 光源对接或其他光纤光源，例如波长可调单色光源，右侧为LED照明光源。
4.台体
探针台的台体通常由金属材质制成，这种材质选择的主要原因在于其稳定性。在测试电路板时，需要将细小的探针头缓慢地接触到测试点上，如果台体的材质不够稳定，就可能会发生晃动或移动的情况，从而导致测试数据出现误差。而金属材质具有稳定的特性，能够***探针台在测试过程中的稳定性和准确性。
探针台的台体不仅是支撑结构，它还承载着探针座、载物台、机械手等关键组件，确保这些组件在测试过程中能够***、稳定地工作。同时，台体的设计也会考虑到易用性、耐久性和维护方便性等因素。
在半导体测试和测量领域，探针台的台体作为整个系统的基石，对于确保测试的准确性和效率具有至关重要的作用。因此，在选择和使用探针台时，台体的材质、结构和性能都是需要重点考虑的因素。
探针台是如何工作？
探针台可以固定晶圆或芯片，并***待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中，并使用显微镜将探针***放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针***都被设置在正确的位置，就可以对待测物进行测试。
探针台的作用是什么？
探针台在半导体测试领域具有至关重要的作用。它主要用于测试半导体芯片的电性能，通过***控制探针与芯片上测试点的接触，从而获取所需的测试数据。具体来说，探针台的作用主要体现在以下几个方面：
***与接触：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够***地将探针定位到芯片上的***测试点，并实现稳定的接触。这确保了测试的准确性和可靠性。
测试数据获取：通过与测试仪器相连，探针台能够实时获取测试数据，包括电压、电流、电阻等电性能参数。这些数据对于评估芯片的性能和可靠性至关重要。
高效测试：探针台通常支持多点测试，能够同时测试芯片上的多个测试点，从而提高测试效率。此外，一些***的探针台还具备自动化功能，能够自动完成测试序列，进一步减少人工干预和提高测试效率。
研究与开发支持：在半导体研发过程中，探针台可用于对芯片进行原型验证和性能评估。它能够帮助工程师及时发现和解决潜在问题，从而优化芯片设计。
5. 应用领域：
半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等
